反射式膜厚测量仪

A3-SR-100反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏 ITO 等镀膜厚度，PET 柔性 涂布的胶厚等厚度，LED 镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。A3-SR-100 可用于测量 10 纳米到 100 微米的膜厚，测量精度达到 0.1 纳米。 在折射率未知的情况下，A3-SR-100 还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外，A3-SR-100还可用于精确测量样品 的颜色和反射率。样品光斑在 1 毫米以内。

A3-SR-100反射式膜厚测量仪进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于 1 秒。配合我们的 Apris SpectraSys 软 件进行手动测量，每次测量时间低于 1 秒。Apris SpectraSys 支持 20 层膜以内的模型并可对 多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时支持 函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型 （Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。 同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。

配手持式探头,A3-SR-100可以用来一键式测量车灯罩表面硬化膜(包括过渡层)和背面的防雾层,精度达到0.02um, 只需1秒钟,还可以测量内饰件,外饰件的铝阳极氧化层和漆层的厚度,精度达到0.02um。

A3-SR-100系统参数：

1.产品尺寸： W270*D217*（H90+H140）mm  

2.测试方式：可见VIS 反射(R)          

3.波长范围:380nm - 1050 nm

4.光源: 进口 钨卤素灯 寿命10000小时  

5.光路和传感器:光纤式(FILBER,进口 )+进口光谱仪  

6.入射角:0 度 (垂直入射)  (0 DEGREE)

7.参考光样品: 硅片  

8.光斑大小：About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置）

9.样品大小：10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置)

10.测试方式：反射